Унсурҳои вакууми ҳарорати баланд
Табобати гармӣ асосан равандҳои оксидшавӣ, диффузия ва гармкуниро дар бар мегирад.Оксидшавӣ як раванди изофӣ мебошад, ки дар он вафли кремний дар як кӯраи ҳарорати баланд ҷойгир карда мешавад ва оксиген илова карда мешавад, то бо онҳо реаксия карда, дар рӯи вафли кремний ҳосил кунад.Диффузия ин интиқол додани моддаҳо аз минтақаи консентратсияи баланд ба минтақаи консентратсияи паст тавассути ҳаракати гармии молекулавӣ мебошад ва раванди диффузия метавонад барои допинги моддаҳои мушаххаси допинг дар субстрати кремний истифода шавад ва ба ин васила гузариши нимноқилҳоро тағир диҳад.
